CLEAN설비 개요
300mm Slilcon Wafer에 Etching, Cleaning, Rinse, Dry를 주된 공정으로 하는 설비
공급 UNIT
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Index Unit |
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Robot Driver MTR Box |
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Robot Driver IDR Box |
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AC/DC 통합 Power Box |
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Main 분전반 |
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Index Unit |
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Robot Driver MTR Box |
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Robot Driver IDR Box |
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AC/DC 통합 Power Box |
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Main 분전반 |