CLEAN설비 개요
300mm Slilcon Wafer에 Etching, Cleaning, Rinse, Dry를 주된 공정으로 하는 설비
공급 UNIT
Index Unit |
Robot Driver MTR Box |
Robot Driver IDR Box |
AC/DC 통합 Power Box |
Main 분전반 |
Index Unit |
Robot Driver MTR Box |
Robot Driver IDR Box |
AC/DC 통합 Power Box |
Main 분전반 |