PHOTO설비 개요
300mm Slilcon Wafer에 PR Coation, Develop & Bake 를 주된 공정으로 하는 설비
공급 UNIT
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| Index Unit |
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| Bake Frame |
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| MTR 제어기 |
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| UDR TMC PMC Box |
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| Index Signal Box L |
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| Index Signal Box R |
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| EM Control Box |
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| Main 분전반 |