PHOTO설비 개요
300mm Slilcon Wafer에 PR Coation, Develop & Bake 를 주된 공정으로 하는 설비
공급 UNIT
Index Unit |
Bake Frame |
MTR 제어기 |
UDR TMC PMC Box |
Index Signal Box L |
Index Signal Box R |
EM Control Box |
Main 분전반 |